Микроэлектроника

МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

 

Скачать брошюру устройства микрофильтрации для микроэлектроники, брошюра на русском.

 

Центральное место в современной микроэлектронике занимает оптическая фотолитография. С помощью фотолитографии получают определенный рисунок. Этот прием, например, используют при изготовлении полупроводниковых приборов с применением планарной технологии (травление, электро-осаждение), интегральных микросхем, жидкокристаллических дисплеев.

МИКРОЭЛЕКТРОНИКА МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

Основные процессы фотолитографии это:
- Очистка и подготовка поверхности. Происходит очистка от загрязнений в специальной ванне в различных органических растворителях (ацетон, метанол)
- Нанесение фоторезистра (тончайшей полимерной пленки)
- Задубливание фоторезистра (сушка)
- Засветка фоторезистра (экспонирование)
- Проявление
- Травление. Используется два способа травления с применением травильных ванн - жидкий (применяют травильные растворы) и сухой. Жидкое травление используется для изготовления печатных плат.
- Электроосаждение
- Напыление
- Снятие фоторезистра

Для очистки травильных растворов в процессах фотолитографии можно рекомендовать фильтроэлементы Parker серий: CHEMFLOW PE &XF (для этой серии необходим корпус из полиэтилена высокой плотности, CLARIFLOW (для этой серии необходим мини-корпус из полипропилена).

Для очистки фоторезистров можно применять фильтроэлементы Parker серии CHEMFLOW PE &XF.

Фильтрация вспомогательных технологических средств

Фильтрация воды

фильтрация водыПри изготовлении интегральных микросхем важным этапом является изготовление пластин. Эти пластины должны быть качественно промыты высокоочищенной специально подготовленной (деионизированной) водой. Для очистки и подготовки деионизированной воды можно рекомендовать мембранные фильтроэлементы Parker серий: POLYFLOW, PROFLOW-HE (для этой серии необходимо применять корпус из полипропилена). Для сверхвысокой очистки воды можно применять фильтроэлемент серии: CLARIFLOW.

 

Фильтрация химических веществ, составов для удаления красок, кислот, оснований, органических растворителей, чистящих растворов

Фильтрация химических веществДля фильтрации кислот, оснований, составов для удаления красок, растворителей можно использовать фильтроэлементы Parker серий: FLUOROFLOW (можно использовать этот картридж и при высоких температурах). Для фильтрации агрессивных химических веществ рекомендуем фильтроэлементы, заключенный в капсулу из фторполимера серии: FLUOROCAP. Для фильтрации растворителей, чистящих растворов рекомендуем применять фильтроэлементы: CHEMFLOW PE &XF. Для фильтрации кислот, оснований, растворителей, для кристаллизации растворителей можно использовать фильтрующий элемент серии PROFLOW-HE с гофрирующей гидрофильной PTFE мембраной.

 

Фильтрация газов

Фильтрация СО2Для фильтрации газов, применяемых в микроэлектронике можно использовать высокоэффективные фильтры Parker, которые позволяют удалять частицы от 0,02 до 40 микрон следующих серий: POLYFLOW и POLYFLOW MEMBRANE (применим корпус из полипропилена), PROFLOW II PTFE (применим мини-корпус из полипропилена).

 

Комментарии закрыты.